EUV-Lithografie: ASMLs neue Scanner schaffen bald 170 Wafer pro Stunde

ASML hat das erste Quartal leicht über den Erwartungen abgeschlossen, was unter anderem an der Auslieferung von EUV-Belichtungssystemen liegt. Die Scanner sind sehr gefragt, das nächste Update zudem bereits in Vorbereitung, mit dem die Ausstoßrate weiter verbessert wird.